奈米制造实验室
纳米实验室结合了许多互补的技术,使2D和3D纳米制造成为可能。
纳米实验室,斯威本的多用途纳米技术实验室,促进纳米技术的研究,原型设计和教育。该实验室位于Hawthorn校区先进技术中心的洁净室中,拥有一套能够进行三维(3D)和传统二维(2D)结构、设备制造和材料加工的工具。
我们的用户由实验室工程师培训,探索纳米微加工的广泛现象和应用,以控制光传播,吸收,散射和生物杀灭表面。具体的研究领域包括太阳能电池,光收集和制造表面的光催化应用和机械生物杀灭纳米纹理。
我们的800万美元的设施拥有最先进的工具,能够达到最高分辨率的纳米制造-低至10纳米(比人类头发的横截面小10,000倍)。
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“洁净室是一个无微粒的环境,允许我们制造和修改材料一套多功能的纳米制造工具提供聚焦工业应用的3D纳米级控制。”
Saulius Juodkazis教授
实验室的工具
电子束光刻(EBL) - Raith 150two,分辨率为10纳米
离子束光刻IBL - Raith IonLiNE (Ga+) 10 nm分辨率
溅射涂布机- JKLesker AXXIS电子束蒸发和等离子溅射(金属;电介质)
干式蚀刻-电感耦合等离子体蚀刻Samco RIE-101iPH
工业用高功率超短脉冲激光器- Pharos可产生1030,515,257 nm波长230秒激光脉冲,重复频率高达600 kHz,平均功率为10W (1030nm)至1W (257 nm)
掩模校准器- AOI(1-2微米分辨率)
nanoimprint
化学室,临界点干燥机。
该实验室的研究具有高影响力的成果,导致了出版物、专利申请、技术转让(国内和国际)。
结果
表面增强拉曼散射(SERS)传感器的大规模生产解决方案(专利和授权给立陶宛Altechna Ltd)
黑硅的开发——硅的纳米尖状表面——具有杀菌作用(专利,授权给Global Orthopedic LtD, IMCRC)
利用超短聚焦激光脉冲制备纳米材料新高压/温度相的途径
Black-CuO作为SERS传感器(技术转让给Flewsolutions Pty)。
想使用这个设施吗?
斯威本的学生、教职员工以及其他大学的研究人员都可以使用。只需使用我们便捷的在线预订系统。
费用表
对该设施的访问可以通过服务收费、服务合作或两者结合的方式授予。在签署访问协议并提供具体的SUTNFS项目编号之前,您不能开始使用该设施。
注意:定价只是指示性的;最终成本将取决于项目的性质和持续时间。
设备使用情况或提供的服务 | 历年内每个项目总使用量的小时费率(澳元不含消费税) | |||
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纳米实验室设备 | 1-50小时 | 51 - 100小时 | 101 - 200小时 | 201 +小时 |
Raith电子提单 | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
Raith扫描电镜 | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
Raith IBL | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
KJL PVD电子束evap | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
Samco ICP-RIE | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
光刻机 | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
NanoImprint | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
Pharos激光制造 | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
员工技术援助 | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
员工技术支援培训 | 125美元 | 100美元 | 75美元 | 50美元 |
设备使用情况或提供的服务 | 历年内每个项目总使用量的小时费率(澳元不含消费税) | |||
---|---|---|---|---|
纳米实验室设备 | 1-50小时 | 51 - 100小时 | 101 - 200小时 | 201 +小时 |
Raith电子提单 | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
Raith扫描电镜 | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
Raith IBL | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
KJL PVD电子束evap | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
Samco ICP-RIE | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
光刻机 | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
NanoImprint | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
Pharos激光制造 | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
员工技术援助 | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
员工技术支援培训 | 100美元 | 80美元 | 60美元 | 40美元 |
设备使用情况或提供的服务 | 历年内每个项目总使用量的小时费率(澳元不含消费税) | |||
---|---|---|---|---|
纳米实验室设备 | 1-50小时 | 51 - 100小时 | 101 - 200小时 | 201 +小时 |
Raith电子提单 | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
Raith扫描电镜 | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
Raith IBL | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
KJL PVD电子束evap | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
Samco ICP-RIE | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
光刻机 | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
NanoImprint | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
Pharos激光制造 | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
员工技术援助 | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
员工技术支援培训 | 50美元 | 40美元 | 30美元 | 20美元 |
资金
纳米实验室的部分资金是由州政府通过维多利亚科学议程拨款,澳大利亚国家制造设施(ANFF)。
教职员及研究办公室
该实验室通过Swinburne和德国Raith公司的合作安装了纳米光刻设备。工业高功率超短脉冲激光器是通过立陶宛Altechna公司的临时专利许可获得的。
其他国际合作还包括日本(静冈大学、横滨国立大学和东京工业大学)、法国(波尔多大学)和美国(弗吉尼亚大学)、印度(印度理工学院马德拉斯分校)、中国(吉林大学、山东大学)。
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无论您是博士生,媒体,还是希望与我们合作或访问我们的设施或与我们合作的组织,请联系Saulius Juodkazis教授通过sjuodkazis@swinburne.edu.au。